Диапазон элементов B (5) – U (92).
Число спектрометров 2 – 5 каналов (ВДС + ЭДС).
Аналитические кристаллы 9 типов по выбору, искривленные кристаллы.
Разрешение электронного микроскопа 6 нм (30 kV).
Увеличение х50 – х400 000.
Ускоряющее напряжение 0 – 39 kV (шаг варьирования 0,5 kV).
Максимальные размеры образца 100 * 50 мм.
