Материал корпуса и плунжера: сплав алюминия
Уплотнитель: витон
Время закрытия: < 30 млс
Мощность: прим. 7 Вт
Фланцы: NW25 и NW40
Температурный диапазон: клапана 0 – 100 °С, соленоида 0 – 50 °С.
VPI подсоединяется параллельно механическому насосу и быстро закрывается, обеспечивая защиту вакуумной системы от обратного потока масла или миграции частиц в случае сбоя в подаче электроэнергии. При этом также происходит вентиляция насоса со стороны входного фланца, что защищает его рабочую камеру и вакуумную систему от частиц, которые при отсутствии VPI попали бы в них со стороны выхлопа.
