1,1,1,3,3,3 - ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАН
Эмпирическая формула C6H19NSi2 CAS № 999-97-3
1,1,1,3,3,3 - ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАН ОСОБОЙ ЧИСТОТЫ ОСЧ 12-5 ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ТУ 2637-034-44493179-99 с изм. № 1
Наименование показателя Показатель
Внешний вид бесцветная прозрачная жидкость
Массовая доля основного вещества, %, не менее 99,00
Массовая доля органических примесей, % не более 0,9
Массовая доля примесей катионов металлов, %, не более:
Ванадий 0,000001
Железо 0,000001
Кальций 0,000001
Магний 0,000001
Марганец 0,000001
Медь 0,000001
Никель 0,000001
Свинец 0,000001
Хром 0,000001
Массовая доля щелочных металлов, %, не более:
Натрий 0,000005
Калий 0,000005
Литий 0,000005
Массовая доля сульфатов, %, не более 0,0002
Массовая доля нелетучего остатка, %, не более 0,001
Фасовка Стекло 1,0 куб. дм Стекло 0,5 куб. дм
Свидетельство о регистрации СМИ – Эл № ФС77-39591 от 22.04.2010 г. выдано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций (Роскомнадзор)
